SONIC索尼克/超音波气体流量计/风速仪/传感器/KA-801
用于控制半导体制造过程中的小区域的流速,例如IPA,纯水,化学溶液等 - 微流量测量以1 ml/min的速度开始 - 使用数字信号处理 - 微流程 - 微流 - 与流体 - 宽易态度的微流量结构
μLF-300
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