HUGLE藤宫/手动清洁系统/IF-12
FOUP / FOSB手动清洁系统IF-12
通过清洗 FOUP 和 FOSB 来保持和提高半导体制造的高生产率的概念在这个时代是不可或缺的。 IF-12 一台可以清洗/干燥各种FOUP/FOSB。 Hugle独特的腔室结构消除了对任何工艺套件更改或重组的需要。
产品概述 高吞吐量（与我们之前的模型相比） 占地面积小 防静电/除尘措施 通过喷嘴喷射清洗进行**清洗 通过热风刀干燥在短时间内完成干燥 配备死水防止功能 可以添加自动 FOUP Opener 机制（选项）
设备主体：2300(W) × 1400(D) × 2200(H) mm（不包括突出部分） * 有关此设备的详细信息，请联系我们的总公司或**办事处。
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