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半导体用UV灯照射装置/露光装置

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产品名称: 半导体用UV灯照射装置/露光装置
产品型号: VUM-3500
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

半导体用UV灯照射装置/露光装置  的详细介绍

ORC株式会社/半导体用UV灯照射装置/露光装置/VUM-3500



ORC株式会社/半导体用UV灯照射装置/露光装置/VUM-3500

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消除闪存和其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷和数据

 

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  • 采用*适合去除电荷的254nm波长。
  • 因为是单一波长可使低温处理成为可能。
  • 采用低入射角UV光，可以有效到达对象区域。
  • 降低了LSI的**率・提高了信赖性。


ORC株式会社/半导体用UV灯照射装置/露光装置/VUM-3500


制品规格

Specification

型式 VUM-3500
晶圆尺寸 Φ300 mm（标准）
同时处理张数 15 张
搬送盒形式 FOUP
晶圆搬送 自动搬送
灯管数量 20 只
照度测定 自动测定



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